二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #293778315 待售
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ID: 293778315
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Vertical furnace, 12"
Wafer type: Si
Process: ALD-SiO2
Temperature range: 500°C to 800°C
Tube
Chamber
Power supply: 480V, 3 Phase / 208 V, Single phase
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是一种蚀刻器/asher,设计用于帮助微加工过程。它由TEL制造,是一种高度精确高效的工具。TEL TELINDY Plus采用高精度蚀刻和灰化设备设计。该系统包括精确的晶圆对准和基板运动控制,以及集成的基板温度控制。这确保了蚀刻过程的精确度和准确性。该机器具有能够处理各种不同晶圆尺寸的腔室容量。它配备了一个特殊的自动控制功能,这使得自动化基板处理和确保高效蚀刻。它还有一个粒子过滤单元,有助于确保细小的粒子从腔室和晶圆表面被去除。此外,TOKYO ELECTRON TELINDY Plus还有一个集成的预处理机,这有助于在通过蚀刻或灰化工艺处理晶片之前对晶片进行清洁。它还有一个过氧化氢输送工具,在室内输送和冲洗过氧化氢溶液。这有助于确保该过程既安全又有效。TELINDY Plus还具有其他几个有助于蚀刻和灰化过程的功能,如高精度计时器和自动遥控驱动器资产。它有各种各样的蚀刻配方可以编程到机器中,它的软件有内置的安全检查,以确保每个过程只使用正确的气压量和电流。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是一款高品质、可靠的蚀刻器/asher。它为加工晶片提供了一个高效、精确的模型,具有极大的安全特性,并有多种设置和特性来帮助处理过程。它是微加工工艺的宝贵工具,有助于生产高质量和可靠的终端产品。
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