二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251690 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是TEL製造的一种蚀刻/asher设备，被半导体工业用来製作晶圆加工、MEMS製造、薄膜封装等多种微电子器件的阵列。它旨在实现基材的精密蚀刻和灰化以产生所需的形状。该系统由控制器、蚀刻工艺室和真空单元组成。TEL TELINDY Plus机上的控制器提供了设置蚀刻过程和启动程序所需的用户界面。该控制器具有先进的软件算法，能够自动调整蚀刻参数，给用户更大的控制和灵活性的过程。蚀刻加工室是一种全玻璃室，用于在蚀刻和灰化过程中容纳基材。腔室设有专门的气体输送系统、蚀刻电极以及压力和温度传感器。它旨在提供高度定义的蚀刻环境,并确保均匀一致的蚀刻结果。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus资产的真空工具由离子吸收泵和旋转式叶片泵组成，为基材加工提供必要的真空水平。该模型还具有涡轮泵，支持维持真空水平和辅助传热从蚀刻过程。TELINDY Plus设备采用光学透明电极设计，用于创建用于晶圆精密蚀刻和灰化的电场。电极还保证了均匀和可重复的蚀刻轮廓。该系统与多种气体兼容，可用于实施从湿蚀刻到干蚀刻的各种工艺。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus单元是一款可靠高效的蚀刻机/asher机，非常适合半导体行业的技术人员。该工具提供了高级自动化、精确蚀刻分析和各种工艺选项,使其成为晶圆处理的理想选择。