二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251691 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus
ID: 9251691
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Vertical LPCVD furnaces, 12" 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是一种用于半导体生产过程的多功能蚀刻器或asher。它是一种高性能设备,用于在半导体晶片上蚀刻图样,能够蚀刻一些最复杂的特征。蚀刻器配备独立精密多区温度控制,最高温度为800 °C。通过气体面板和感应线圈的组合来实现温度控制。此外,加号具有独特的浮动磁化器设计,用于确保晶圆表面的均匀蚀刻。敏感器是一种低温敏感器,不会对材料造成任何损坏。该设备可靠、精密,实现了浅层接头成形、抗蚀带、除害和晶片清洗等工艺。它还提供严格的过程控制,因为该系统配备了可编程的端点监控单元。这台机器保证在确定的端点精确蚀刻。此外,它还具有一个名为EPM(蚀刻/处理器模块)的高级安全工具,可提供蚀刻过程的安全控制。蚀刻器也是用户友好,启用快速的过程设置和简单的操作与触摸屏显示。这可能是因为内置的流程配方易于定制和优化。TEL TELINDY Plus是用于半导体生产的先进蚀刻器/asher资产。其独特的温度控制、敏感器设计、过程控制和安全特性使蚀刻工艺更加精确可靠。此外,方便用户的界面向技术人员提供所需的信息,以确保有效的流程操作。
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