二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9313289 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是由TEL製造的先进化学蚀刻器/asher，设计用于半导体晶圆处理。TEL TELINDY Plus是一种使用非接触式维护的化学蒸气蚀刻器/asher，它涉及到交换组件作为一个单元，而不必停止蚀刻过程。它还采用模块化设计，使各种各样的工艺配方得以使用。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus由主体、工艺室、真空泵、晶圆级组成。主体是晶片级、真空泵、工艺控制面板的所在地。晶片级是放置晶片以便蚀刻或清洗的平台。真空泵用于降低工艺室的压力，以创造一个真空环境进行蚀刻，以便一次同时蚀刻多个晶片。过程控制面板用于控制和监视从开始到结束的过程,以及修改参数以优化蚀刻性能。TELINDY Plus使用化学气相沉积（CVD）在晶圆顶部沉积一层薄薄的介电层。此层用作掩码,用于确定哪些图样或形状将从晶圆中蚀刻出来。蚀刻过程包括将晶片暴露在真空室中的化学蚀刻物中，这会侵蚀所需区域内的材料。一旦这个过程完成，一系列高纯度气体被输送到腔室，以洗去蚀刻剂并清洗晶片。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus为用户提供了一个严格控制的环境，以实现最大的重复性和过程控制。具有精确调节温度、压力、转速、气体溷合物的能力。这允许用户优化工艺，达到最大蚀刻效果。它还为精确的气体输送和均匀性提供了较高的气流精度。TEL TELINDY Plus配备了压力传感器、泄漏传感器、具有报警功能的温度传感器、超压关机等安全功能。直观的用户界面允许用户从头到尾轻松监控和控制蚀刻过程。此外,TOKYO ELECTRON TELINDY Plus还提供各种定制选项。总体而言，TELINDY Plus是一款先进的化学蚀刻器/asher。它具有精确蚀刻和均匀输送气体的能力，以及先进的安全特性和定制的多功能性。是半导体晶圆制造的理想解决方桉。