二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM #9294211 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 DRM是一款为高品质、高性能蚀刻解决方桉而设计的自动化干蚀刻设备。蚀刻器基于先进且经过验证的Telius 305平台，在各种应用中使用了多年。该系统利用专有电子束加热和氢等离子体源技术，统一蚀刻玻璃、石英、硅、氧化铝等各种材料的基材。该单元特别适合于以高精度和均匀性对半导体器件进行蚀刻和制图。具有三轴级和200毫米至300毫米的大晶圆直径，蚀刻器可以容纳种类繁多的基板。此外，Telius 305平台还可针对氧化物蚀刻、溅射、等离子体蚀刻和深层抗蚀刻等各种工艺进行定制。该机采用延迟反射方式和光束消隐脉冲，保证光束强度均匀，从而保证晶圆蚀刻均匀。它具有最先进的可变倾斜蚀刻和可变抖动，以及可变静电夹紧。此外,该工具还配备了高级温度控制功能,以确保精确的蚀刻速率。TEL Telius 305 DRM具有过程控制和数据采集功能,可确保参数的可重复性和准确性。该资产可以存储流程配方,并允许用户存储不同蚀刻应用程序的多个配方,从而简化流程优化。该模型还利用了一个无快门光束快门，以实现更好的能见度的过程。设备高度紧凑,安装空间最小。其稳健的设计加上高速数字控制系统和高性能数字伺服电机，使其可靠高效。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 DRM也被设计为易于维护和高正常运行时间。它还提供高速和高吞吐量能力。总体而言，Telius 305 DRM是一款先进、可靠、高效的蚀刻装置，适用于各种基材的高精度、均匀蚀刻。蚀刻器强大的设计、先进的温度控制能力以及过程控制和数据采集能力使其适合广泛的应用。