二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #293652091 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是一款用于集成电路制造的先进蚀刻asher。它是一个SCCM（基板电荷控制模块）机器,可以精确控制基板电荷.该机用于加工直径达300 mm的基板，每个半导体器件的低零件成本使其成为先进蚀刻粉碎机应用的理想解决方桉。TEL Telius 305 SCCM的核心特性包括其静电电荷控制，在每个位置都有独立可调的偏差，自动化晶圆处理设备，以及处理直径达300 mm的基板的能力。这台机器配备了两个等离子体源，一个锁载室，以及一个广泛的计算机控制系统。负载锁室可以方便地交换晶圆，而不需要大量的停机时间，而等离子体源可以对基板进行精确的蚀刻。此外，双等离子体源的设计保证了基板的均匀蚀刻。计算机控制单元允许精确的过程监测和调整蚀刻参数。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM专为高性能应用而设计，是蚀刻asher行业中的佼佼者。它拥有5分钟的高速蚀刻时间，吞吐量高达每小时450个基板。这台机器能够加工厚达125 μ米的基板，在晶片平面度和圆度测量上都是准确的，能够进行脉冲蚀刻和离子束传递蚀刻。蚀刻方法的选项是根据正在处理的晶圆类型定制的。Telius 305 SCCM包含紧急停止按钮、两级安全联锁、安全开关等多项安全功能。此外，它还有一个先进的警告机器，其设计用于检测基板加工过程中的任何违规或损坏，并提醒操作员。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是一款高效可靠的蚀刻机,为集成电路制造提供卓越的性能。它对所有制造工艺都具有成本效益，其先进的技术确保了大多数基材的精密蚀刻。