二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #293822433 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是为大批量生产工艺而设计的全自动蚀刻器（或asher）。它是一个单一的晶圆生产设备，每次运行最多可处理12个晶圆，允许高效灵活的生产。它是一种干式蚀刻系统，采用隔绝等离子源技术，以高精度、高精度沉积和蚀刻材料。TEL Telius 305 SCCM建立在坚固的两轴级工作台上,能够承载12英寸大小的晶片。其自成一体的集成输送机单元还确保了晶片的可靠运输，并提供了广泛的调整速度设置。采用高精度Z轴压电执行器在蚀刻过程中提供理想一致的晶圆定位。该机配备了先进的闭环工艺控制技术，允许对加工参数进行自动化、精确的控制，以保证每次蚀刻结果最准确。机器有能力储存多达10种可重复的工艺序列配方，并能够蚀刻包括硅、铝、铜等多种金属和合金在内的不同材料。该蚀刻器配备了一个全自动清洁和安全模块，包括一个用于转移过程中惰性气体保护的双气体输送工具，以及一个氮气净化资产，以确保每次都能获得清洁和无颗粒的蚀刻结果。它是一种高度通用的蚀刻模型，适用于各种生产线和应用。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是一种高效可靠的蚀刻解决方桉,旨在满足基本的生产需求和要求,为各种工艺和材料提供灵活和过程控制技术的完美结合。它是一种经济且用途广泛的机器，非常适合大批量蚀刻和其他生产应用。