二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #9252316 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是一款常用于半导体和MEMS行业的高分辨率蚀刻器。它被设计用来蚀刻或粉刷各种底物，包括硅、金属和聚合物。它具有出色的蚀刻速率均匀性和高达300毫米（12英寸）的蚀刻深度均匀性。蚀刻机设有可调节的流量控制特性，使其能够在较短的时间内调整蚀刻速率，以进行更大的物料去除。它配有内置的多电极组件，用于蚀刻和反应性离子蚀刻（RIE）。该蚀刻器可处理直径达8英寸（200毫米）、深度可达150微米的晶片，额定工作温度可达175 °C。它还具有可调节的气体输送和压力控制功能，允许包括氧气、CF4、SF6和空气在内的多种环境大气。此外,TEL Telius 305 SCCM还配备了数字控制系统,用户可以从五个工艺参数（蚀刻速率、腔室压力、目标蚀刻速率、基板温度和气流）中选择一个,并手动调整每一个参数以达到所需的值。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM还附带一个可选的负载锁，以提高吞吐量和稳定性。这对于需要提高蚀刻环境稳定性的半导体和MEMS工艺特别有用。负载锁定系统可以安全地保护晶片免受压力、温度和大气条件突然变化的影响。此外，Telius 305 SCCM还融合了自动过程监控功能，如实时过程真空传感器、RF等离子体清洗系统和蚀刻后处理站。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是一款蚀刻器/asher，旨在满足广泛行业和应用的要求。TEL Telius 305 SCCM具有可调节的流量控制和气体输送、实时过程监控以及可选的负载锁定功能,为用户提供了可靠高效的多种材料基板蚀刻手段。其多功能性、准确性和用户友好的设计使其成为任何蚀刻或灰化需求的可靠选择。