二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius DRM #293627317 待售

ID: 293627317
晶圆大小: 12"
Etcher, 12".
TEL Telius TM DRM是TOKYO ELECTRON与佳能光刻专家合作开发的蚀刻/灰化设备。蚀刻/灰化系统使用直接反转掩码将电路设计的地形蚀刻/灰分到半导体晶圆上。利用先进的晶片处理,TEL/TOKYO ELECTRON TeliusTM 蚀刻器/asher可以以模彷所需电路设计的线条和图样去除或添加材料到晶片表面。该单元的工作原理是,首先从所需的电路设计中创建一个如画的掩模,然后使用激光器引导机器在晶片表面蚀刻/灰线和图桉。TEL TeliusTM 蚀刻器/asher精度很高,分辨率为十分之一微米(1/10微米)。它利用机载数字控制来精确地执行每个蚀刻/灰化操作,使批量较小的大规模生产和停机时间最短的高质量产品成为可能。Telius TM工具还包括高级、可自定义的电源和排水参数,允许用户根据自己的特定需求自定义蚀刻/灰化过程,从而提高速度和吞吐量。该资产采用了多项获得专利的节能和节省时间的技术,例如OptiCool TM模型,它可以快速响应不断变化的温度和流体压力。TOKYO ELECTRON TELIUS TM 蚀刻器/asher提供了额外的功能,例如内置自动定位设备、自动底板检测和完全可编程的阶段,提供了大规模生产的灵活性和高产率。所有这些功能使TEL/TOKYO ELECTRON Telius TM 蚀刻器/asher成为快速、精确、经济高效的蚀刻/灰化操作的理想选择。
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