二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #293593000 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM Shin是一种蚀刻器/asher，可用于半导体和平板器件的生产。它的工作原理是使用压力和温度的替代方法,从工件表面移除材料层。Telius SCCM使用电极去除材料作为电化学反应。反应发生在两个电极（工件和安装的电极）之间，这两个电极产生阳极离子和阴极离子，将非导电材料护送到基板表面。然后将其从基板中移除。这种蚀刻被称为"干蚀刻"，因为这一过程是在不使用蚀刻化学品或溶剂的情况下完成的。Telius SCCM是一款全自动设备,具有高度的工艺准确性和可重复性。它提供了对蚀刻面积、深度和表面粗糙度的精确控制，以确保最高质量的蚀刻结果。联锁系统提供安全保证,可以编程以防止对产品造成损坏。该股能够处理各种材料（包括塑料、陶瓷和半导体）。也可用于双大马士革、环形蚀刻、浅沟蚀刻（STI）等半导体应用。该机具有较高的蚀刻精度，且蚀刻面积均匀性很小，表面变化很小。蚀刻结果没有残留物或污染，有可能产生高产率。Telius SCCM是半导体和平板显示器设备生产的理想选择,需要高度的工艺精度和可重复性。该工具能够产生表面变化低、蚀刻残留物或污染最小的高精度蚀刻。这使得它成为需要卓越产量和质量的工艺的绝佳选择。Telius SCCM的高端功能使其非常适合最苛刻的任务。