二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #9190591 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM Shin（一种蚀刻器/asher）是一种高度先进的蚀刻机，设计用于高精度、高通量、高效生产半导体晶片。它专为MEMS设备、CMOS、ASIC等需要复杂蚀刻过程的应用而设计。该机具有步进电机和合金主轴定位技术，除了用于监测物料流动的嵌入式图像识别设备外，还具有高度精确和可重复的结果。它还配备了4轴高速精密伺服系统和自动晶圆处理，用于快速高效的制造。该装置提供了对蚀刻气体、图样和温度的精确控制，允许高可靠性的过程控制。它还具有一个内置的快速气体切换机，以尽量减少废气，以及一个实时的温度控制工具，防止不希望的温度变化。该资产设计用于制造硅、石英、铬、钨等多种材料。它还能够处理宽达8英寸的晶片,批量可达100块。凭借直观的触摸屏界面和强大的软件功能，TEL Telius SCCM Shin是半导体器件原型制作和批量生产的理想选择。