二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #9353062 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM Shin是一种用于加工半导体底物的蚀刻器/asher。它是来自TEL的Telius系列高精度蚀刻系统的一部分。SCCM Shin利用深反应离子蚀刻（DRIE）技术，以高速、精确、重复性的方式蚀刻晶片上的图样。设备配备了完全集成的工艺控制系统，允许各种精确的蚀刻配方。SCCM Shin装有一个能够处理8英寸或12英寸硅晶片的腔室，以及砷化氙和磷化铵晶片。它配备了一个或两个常规ICP（感应耦合等离子体）源，以及一个独特的第二个源选项RF偏置，以便更好地进行蚀刻控制和准确性。该单元还设有快速晶圆旋转机以提高其蚀刻速度，以及环境离心机源以使DRIE工艺更加高效。SCCM Shin具有高度的灵活性和可定制性。它可以与多种其他设备集成，如负载锁、排气和远程等离子体源，以进一步精简其处理能力。该工具还能够进行精确的自动样品跟踪和晶圆处理。在其工艺室内，SCCM Shin利用三种气源的独特组合，产生各种蚀刻配方，包括各向同性和各向异性蚀刻工艺。利用这种能力，它能够以无与伦比的质量和精确度将图样精确蚀刻到晶片上。SCCM Shin旨在最大限度地提高效率和减少浪费。它结合了专用的排气资产，以减少气体消耗和增加吞吐量。此外，其过程控制模型与智能监控系统和反馈系统相结合，保证了最佳性能和可重复性。总体而言,TEL TELIUS SCCM Shin是一款功能强大且可靠的蚀刻器/Asher,它为晶片提供精确的蚀刻,具有出色的特性和功能,使其成为半导体加工的理想选择。