二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #293645275 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM是一款多平台蚀刻器/asher，旨在为广泛的蚀刻工艺提供卓越的吞吐量性能。这些工艺包括但不限于半导体器件制造、薄膜沉积（TFD）、介电蚀刻和MEMS蚀刻。TEL Telius SCCM采用独特的专利设计,利用基于SCSI卡的主控制器和腔室定位设备,实现了完全均匀的腔室分布。这确保了腔室温度和气体流量可以保持在一个调节的方式，允许高精度蚀刻。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM具有广泛的功能，使其成为常规和复杂蚀刻任务的绝佳选择。它提供了高度的灵活性，当涉及到基板处理，与精密导轨，允许多个不同尺寸的基板一次加载到系统中。多区热区技术和先进的焦微米加热元件保证了不同基板上一致、可重复的蚀刻效果。对Telius SCCM的腔室设计进行了进一步的优化，以达到最大吞吐量和回收时间。它具有远程访问功能,可用于远程诊断和维护任务,即使在无法物理访问腔室的情况下也能进行优化。此外,它还配备了SIAS,即Sirius解释器算法单元,使机器能够检测并快速调节可能的过度蚀刻或不足蚀刻问题,从而确保可靠的过程控制。结合这些功能,TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM的用户可以享受世界一流的蚀刻性能和卓越的精确度,从而能够快速实现产品产量和输出可靠性。这就是为什么TEL Telius SCCM是许多半导体器件制造领域的首选器件。