二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #293830627 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM是一款已经设计以满足半导体生产的严格要求的蚀刻器/asher。它具有多种高级功能和规格,是研究和生产应用中最可靠的蚀刻工具之一。TEL Telius SCCM 蚀刻器/asher设计用于化学机械抛光（CMP）和化学机械平面化（CMP）。该蚀刻机由三个基本部件组成：腔室，包括工艺舱、真空设备和控制器系统；工艺甲板，包括射频发生器、配电总成和工艺头；和工艺吊舱，其中包含晶片支架、加工头和基板升降机。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM的腔室还配备了多项先进功能，包括精密温度控制、真空感应、远程操作等。可变温度范围允许重复和可靠的过程优化。腔室还配有高分辨率传感器，可实时监控过程，并进行任何必要的调整。Telius SCCM的工艺甲板由三相高压射频发电机供电，并配有配电总成，为整个晶圆提供统一的工艺。工艺头是一个多站单元，能够同时处理多达6个晶片。它具有精确定位单元和精确吹气机，以确保一致和均匀的结果。基板升降机设计方便晶片装卸。该蚀刻器/asher中的工艺室还配备了自动晶圆传输工具，该工具旨在降低污染风险，提高工艺吞吐量。除了允许晶片在不同的过程之间传播之外，转移资产还可以用来从腔室装卸物料。腔室还配备了自清洁功能，有助于确保腔室不受污染。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM 蚀刻器/asher还提供了许多高级工艺监控功能。它包括一个嵌入式目标图像分析特征，可用于检测异常过程条件。序列编辑器使用户能够定义特殊参数和过程序列,从而可以更好地控制蚀刻和平面化过程。总体而言，TEL Telius SCCM 蚀刻器/asher是半导体生产和研究应用的绝佳选择。它提供了多种功能和规格,旨在满足最苛刻的蚀刻要求,并提供一致的结果和可靠的性能。