二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9230233 待售

ID: 9230233
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
System, 12" (3) Chambers Missing parts Spare parts: HPK1021-TE2 (3) AGA-50D (3) DGP-120A2 (3) PS3 RF Pump boxes 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM 蚀刻器/asher是为半导体相关过程而设计的单一晶圆级解决方桉-如内存单元形成、SOT内存单元对准和一般半导体过程应用。该设备提供高效可靠的蚀刻工艺,具有较小的脚印,可满足小规模和大规模生产要求。它具有高级蚀刻工具、过程监控系统以及高级过程配方组合,可实现高速吞吐量和高清结果。该器件设计用于晶片调平,以方便地对准晶片边缘,并提供卓越的可重复性。其创新的计量监测仪测量各晶片上的蚀刻过程,验证蚀刻操作的准确性并协助过程控制。此外,还提供了实时避免错误功能,以实现过程优化,从而获得最高的生产效率和产量。集成在TEL Telius SCCM中的创新过程自动化工具简化了配方下载过程,并使操作员能够快速轻松地配置蚀刻操作,从而提高生产率和产量。高级过程控制和监控功能使用户能够根据特定蚀刻要求调整技术参数。此外,TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM还提供了直观的图形用户界面,便于操作.该系统还集成了基于盒式磁带的高性能负载模块,提供了可靠、高通量的环境。其紧凑、经济高效的设计使蚀刻操作能够集成到各种晶圆生产线中。此蚀刻系统使半导体产品制造商能够经济高效地提高吞吐量并减少停机时间。Telius SCCM先进的安全系统监控环境,消除安全隐患。此外,它还为操作员提供数据记录和归档功能,以增强流程跟踪,并帮助他们遵守法规。它的监测系统还设计成与管理信息系统相结合,以便进行完整的跟踪和质量保证。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM 蚀刻器/asher是一种高效可靠的半导体相关工艺设备,可为用户提供更高的生产效率和在当今对成本敏感的市场中的竞争优势。
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