二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9249074 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM是一种先进的蚀刻/灰蚀刻解决方桉,旨在为业界提供前所未有的集成电路结构蚀刻工艺控制水平。设备采用强大的3轴运动系统供电，并配有最先进的晶片和平板显示器。该单元有一个车载监控模块，能够精确监控和控制每个蚀刻/灰烬蚀刻过程的速度、压力和气流。使用直观、用户友好的界面,TEL Telius SCCM允许精确的流程设置和控制,包括调整每次蚀刻运行的配方参数的能力。该机器还能够自动校准自身以确保最佳工艺性能,并提供配方和蚀刻参数集以简化用户的蚀刻工艺任务。而且，该工具最多可以存储99种食谱，允许同时运行相同结构的多种食谱。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM采用嵌入式高压安全资产和专用惰性气瓶设计，确保最佳工艺安全。该模型还具有专用的独立PCB,用于电源管理,可确保控制每个蚀刻/灰烬过程的高精度。此外，该设备还具有耐用和耐用的蚀刻/灰烬室，该室还设计用于最大限度地提高工艺气体利用率，从而在长时间的工艺操作过程中降低成本。该系统有一个完全集成的数字视觉单元，非常适合持续控制大的过程区域，从而为用户提供了一个很好的视野。它还提供了一个可选的基于PC的控制器,它允许通过本地网络对晶圆定位和蚀刻数据收集进行额外的实时控制。总体而言,Telius SCCM是一种领先的蚀刻/灰分蚀刻解决方桉,旨在将工业蚀刻工艺提升到更高的精度和控制水平。SCCM具有强大的3轴运动机器、直观的用户友好界面和可选的基于PC的控制器,是各地集成电路制造商都非常适合的蚀刻器/灰化器。