二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9281489 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM是一款为半导体器件处理而设计的蚀刻/asher设备。它结合了一个等离子体源、一个多级真空过程室以及一个内置多步过程监控器的过程控制系统。该装置为各种材料和工艺生产高质量的蚀刻或粉刷工艺，提供卓越的生产率和产量。TEL Telius SCCM 蚀刻器/asher设计为在亚微米至纳米米范围内运行，具有出色的均匀性、重复性和准确性。为了高效地进行蚀刻和灰烬处理，机器采用了等离子体控制系统、高精度传感器和高速扫描系统等多种技术。等离子体源控制允许用户精确设置和维护最佳蚀刻或灰度圆柱体轮廓。高精度传感器用于实时监控工艺条件，并提供反馈以提高加工精度和精度。高速扫描系统通过快速测量蚀刻或灰度宽度/深度来实现高分辨率过程控制。该工具提供了一个用户友好的软件界面，允许用户访问所有必要的控制功能。直观的用户界面通过提供对所有必要参数的直接访问,可以轻松创建蚀刻或asher配方。用户可以轻松地从一组预先编程的配方中选择配方，也可以轻松地为所需的应用程序创建自定义配方。资产的多级真空处理室提供了一个密封的环境，允许一个一致的，可重复的过程，而不需要频繁的维护或清洁。自动晶片传输模型确保晶片的准确加载和卸载，以实现高效的过程重复性。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM是一款高性能的蚀刻器/asher，具有出色的接口能力和过程控制能力。该设备旨在以较低的拥有成本提供卓越的性能,同时提供可靠的可靠性和可重复性。