二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #293609250 待售

TEL Telius SP 305 DRC是一款蚀刻器/asher设备，专为湿蚀刻、干蚀刻、灰化和跟踪工艺等多种半导体工艺而设计。是半导体器件和电路制造、微电子装配、晶圆级封装和器件改装的理想系统。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 蚀刻器/asher单元采用高密度等离子体技术，能够产生高重复性和均匀性的工艺结果。这台机器效率很高,因为它可以快速轻松地执行过程,并且可以容纳大量的生产。它利用多级真空泵工具保证了良好的程序控制，同时也提供了可靠的大气压力源。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 蚀刻器/asher配备了多种蚀刻和灰化源，如感应耦合等离子体（ICP）、外场反应质谱仪（EFRS）、微波诱导等离子体（MIP）、电回旋共振（EC）源。该资产针对低容积工艺室进行了优化，为高产生产提供了非常严格的工艺公差。它还具有用于低容量、高精度作业的大型分析室。TEL Telius SP 305具有可编程控制器,可存储多达99种工艺配方。自动装载臂确保所有过程参数，如气流、压力、射频频率、处理时间，都能得到精确准确的控制。此高级控制器允许用户轻松访问各种流程程序。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305也附有多种配件，例如变频驱动和mag场测量模型。变频驱动器允许用户根据特定要求改变工艺配方，而mag场测量设备则允许用户优化工艺，产生高产优质产品。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305提供了一个出色的蚀刻器/asher系统,具有独特的特性和功能,使其能够适应一系列高分辨率工艺。这种灵活且易于使用的蚀刻器/asher单元提供了准确、可重复的过程控制,并在操作员干预最少的情况下提高了产量。