二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #293659302 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 DRM Etcher/Asher是为各种半导体晶圆基板而设计的高性能蚀刻和灰化工具，包括硅、SiGe、砷化氙和蓝宝石。该设备支持湿法和干法蚀刻/灰化加工，采用先进的先进蚀刻器和灰烬技术，可实现高端薄膜沉积的精确蚀刻/灰化。Telius SP 305提供高精度的蚀刻/灰度、线性和均匀性,从而实现一致的工艺性能。Telius SP 305提供了先进的"智能"蚀刻/灰化工艺控制系统,可实现业界最准确、一致且最具时间效益的蚀刻/灰化。Telius SP 305允许额外的功能,如亚微米表面处理、高速对焦平面扫描、通过掩码蚀刻/灰化以及数字成像功能。Telius SP 305还包括具有互锁、侵蚀监控和逆流保护功能的综合安全单元。该机符合SEMI和ESD半导体安全标准，确保刀具安全可靠。这有助于最大限度地减少停机时间并最大限度地提高生产效率,因为它允许从任何错误蚀刻/灰烬、半永久性影响和过程泄漏中快速恢复。该资产具有直观的图形界面,可轻松访问程序功能和自动模型信息。I/O性能兼容性基于标准PC硬件和软件。"Smart Etching/Ashing"技术允许在设备上创建和保存自定义的蚀刻/Ashing程序,以进行长期数据记录和配方管理。嵌入式配方可在尽可能短的时间内实现最佳蚀刻/灰化。此外,Telius SP 305与行业标准的机箱兼容,并实现实时蚀刻/灰化数据捕获,提供流程可追踪性和数据分析。Telius SP 305 蚀刻器/asher非常适合用于各种微电子器件的超细结构制造的研发。总体而言,TEL Telius SP 305 DRM Etcher/Asher是一款精密的蚀刻/灰化设备,可为各种半导体材料提供一流的性能。它配备了先进的蚀刻/灰度控制设备和安全功能,有助于最大限度地提高效率并最大程度地减少停机时间。Telius SP 305 蚀刻器/asher具有直观的图形用户界面和与行业标准腔室的兼容性,是任何微电子设备制造的先进蚀刻/灰化解决方桉。