二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #9397049 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 DRM是专门针对光刻工艺要求的精确度而设计的高性能蚀刻/灰烬。它是一种高级蚀刻/灰化器,具有精密制作的腔室,在蚀刻/灰化器过程中具有更高的精度。该机利用三个独立的射频电源，结合高效的气体淋浴积液系统，为不同的蚀刻和溅射要求提供最大的灵活性。TEL Telius SP 305 DRM的腔室尺寸为1.3m宽x 1.4m长x 0.37m深，运行能力50升。腔内压力为0至400 torr，可以1 Torr增量调节。工艺温度范围为-100至700摄氏度，可重复性为+/-0.1摄氏度，本机均匀性极佳，允许低至6微米特征尺寸的高精度蚀刻。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 DRM还具有开尔文探针温度和DC偏置选择选项，以提高工艺控制。为了实现所需的过程，蚀刻/粉碎器的腔室必须适当准备。这一过程开始于使用先进的磨损清洗系统清洁室内墙壁，该系统将清除以前使用过的材料的任何堆积。然后将腔室抽出并用适当的工艺气体回填。然后将该腔室密封关闭，以便在加热到所需温度之前达到超高真空（UHV）水平。腔室温度由集成到腔室壁的先进热电偶不断监测和调节。Telius SP 305 DRM能够执行干湿蚀刻过程以及溅射应用。不同程度的气体压力和流速，以及射频电源的各种组合，使得这种蚀刻器能够以更高的产量和更好的循环时间实现精密蚀刻。还可以使用各种分析技术来监测蚀刻和溅射过程的进展。总之，TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 DRM是一款先进的蚀刻/asher，具有很高的精度和重复性。其特点可用于多种工艺目的，其精确的腔室和温度控制可提高产量，缩短周期时间。