二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE #9196852 待售
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TEL Telius SP 305 SCCM是一款蚀刻器/asher,其设计目的是满足半导体行业对高精度蚀刻/ashing的需求。它是一种高精度的机器,能够从各种基材中去除一层非常狭窄的材料,以便以极高的精确度创造出细节图桉。SP 305 SCCM采用优质材料制造,使其成为可靠、耐用的设备。它由一个基本单元和各种可互换部件组成,允许用户根据自己的需要定制设备。SP 305 SCCM配备了气体溷合流量控制和可编程计时器。溷合气流控制用于溷合用于蚀刻过程的各种气体,计时器确保在所需时间长度内进行蚀刻过程。此外,此蚀刻器/asher还配备了自动监控系统,该系统可以实时监控流程,并在检测到任何违规行为时向用户发出警报。这为用户提供了对蚀刻过程的更大控制,并允许精确的结果。SP 305 SCCM具有很高的精确度,总放置精度为± 2微米,用于蚀刻和灰化。它还提供了范围广泛的蚀刻速度,范围从0.5到50毫米/秒,允许基板的快速和高效的处理。此外,SP 305 SCCM还配备了真空吸收系统,可从蒸发室中清除颗粒和其他污染物,确保仅对纯物质进行蚀刻/粉刷。此蚀刻器/asher具有三种操作模式:手动、半自动和自动。手动模式允许用户手动输入每个参数,半自动模式允许用户创建自己的程序并设置计时器,自动模式允许精确蚀刻和ashing,无需用户输入。这使得SP 305 SCCM成为任何需要高精度蚀刻或灰化的应用的理想选择。SP 305 SCCM易于操作和维护,使其成为半导体行业中许多不同蚀刻和灰化应用的诱人选择。它是一种可靠、耐用、精确的设备,可帮助创建精确度极高的错综复杂的图案。
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