二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE #9282473 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9282473
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Dielectric etcher, 12"
Process: Contact etcher
CIM
SMIF System: (4) Shinkos
Handler system:
Shinko
Orient
Process chamber 1:
Pendulum valve
Turbo pump
Shutter assembly
RF Generator
ESC Assembly
Process kit
Gauge
Process chamber 2:
Pendulum valve
Turbo pump
Shutter assembly
RF Generator
ESC Assembly
Process kit
LLM CM VAC Valve
ARM Drive
ARM Fork
Gauge
Power rack
Gas panel for PM1/PM2: H2, CH2F2, CH3F, CF4, O2, C4F6, C4F8, CHF, CO, Ar, N2
End point detection: SE2000
Missing parts:
(5) Dry pump lacks
(2) Fault chillers
Abatement lack
(6) MFC Lacks
(2) Fault chamber process kits
(2) Fault ESC assemblies
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM TE是一个整合了控制化学蚀刻和灰化过程的最先进技术的模块。TEL Telius SP 305 SCCM TE作为一种蚀刻器/灰化器,旨在提供对基板蚀刻、灰化和清洁活动的精确控制。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM TE采用灵活的设备体系结构,提供了对直流蚀刻（DCE）和交流电蚀刻（ACE）工艺的卓越控制。它能够同时运行两个过程,从而实现对蚀刻均匀性和产量的最佳控制。Telius SP 305 SCCM TE包括一个两个月的控制接口,具有自动化的系统通信功能,简化了蚀刻器/asher的设置和使用。这个控制单元与集成的监控和数据记录配对，实时读取温度、压力和电流等蚀刻变量。它还能够选择合适的材料加工配方，并采用数字边缘控制进行编程，以优化工艺均匀性。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM TE的蚀刻器/asher设计能够进行sandvikadiabatic蚀刻（SAE）。具有在深层高纵横比蚀刻中最大限度地提高纵横比和最小化冷却时间的能力。该设备还提供了在高达150℃的温度下的蚀刻功能以及温度控制的各向异性蚀刻（TCAE）以控制底切或空心。TEL Telius SP 305 SCCM TE附带了多种预编程蚀刻配方，允许用户以最小的调整实现复杂的结构。它还设计了一个先进的安全机器，以保护用户免受与蚀刻剂的任何接触，并提供活动监控，以尽量减少蚀刻和灰化过程异常。这些独特的属性结合在一起，使得TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM TE成为市场上技术最先进的蚀刻器/灰烬机之一。通过提供对蚀刻/灰分工艺的卓越控制,用户可以获得一致、可重复的工艺控制,从而获得更高的产量和更高的产品质量。
还没有评论