二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM #293666983 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM是一款多室蚀刻器/asher，设计用于满足当今半导体和微电子产业的需求。为了精确控制薄膜的高度，它是为提供一流的高精度工艺和最佳的硫蚀刻速率而设计的。SP 305 SCCM采用了先进的自动对焦技术、0.25秒的高速扫描时间以及低残余电阻率监视器，以保持最高质量的结果。SP 305 SCCM专为快速高效的批量装卸而设计,有助于提高吞吐量。它具有多个同时进行硫蚀刻和抵抗灰烬的腔室，导致腔室循环时间缩短，产量提高，停机时间最小化。易于操作的设备提供了对蚀刻和灰化过程的精确控制，允许用户根据个别需求定制配方。TEL Telius SP 305 SCCM配备了直观的图形用户界面,允许操作员跟踪工具性能和工艺条件,同时提供强大的工艺配方和诊断,以便于故障排除。该系统还配备了强大的控制单元，允许用户精确监控工艺条件，以优化性能。该机器由服务和支持专业人员组成的TEL网络提供支持,可提供高水平的可靠性和最短的停机时间。该SP305-SCCM适用于各种蚀刻和灰化工艺，包括阳极氧化、铜蚀刻和铝蚀刻。它还包括一个强大的数字信号处理（DSP）技术，该技术有助于提高胶片高度控制，并可用于高效和精确的灰度薄抗蚀层。此外,该工具还针对TOKYO ELECTRON Advanced OxideSense抗灰资产进行了优化,可实现高质量和可重复的工艺控制。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM结合了先进的技术与用户友好的设计和直观的控制。它是一个健壮可靠的模型，使用户能够以最高的精确度获得优异的精密蚀刻效果。