二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM #293666984 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM是一款为生产先进和复杂的半导体元件而设计的蚀刻器和asher。它提供了高效、经济高效的解决方桉中的精密蚀刻和灰化功能。TEL Telius SP 305 SCCM构建在一个模块化平台上,可容纳各种应用程序,并包括可在现场安装的选项,以实现针对特定流程需求的自定义。它的高精度蚀刻和灰化是通过精确和可重复的气流、直接控制压力水平以及对蚀刻和灰化室的精确加压来实现的。因此,蚀刻器/asher可确保可以随时间重复的一致过程结果。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM是一款自给自足的设备,配备了先进的自动化套件,可实现高级流程设置和持续的流程监控。其直观的用户界面帮助操作员监控系统，以确保一致和可靠的性能。该装置还能够监测、调节和控制压力水平，以优化蚀刻速率，并最大限度地减少任何可能损坏已装运的晶片的可能性。Telius SP 305 SCCM构建在开放式体系结构平台上,可轻松与其他生产系统集成,从而实现更好的过程控制和管理。机器的最先进的电子和软件允许精确的温度控制，确保一致的重复结果，无论环境条件。蚀刻器/灰化器带有多种工艺气体，可实现多种工艺组合。它还可以支持一系列大气类型，包括批量和等离子体，以进一步的灵活性和控制。它能够处理200 mm晶圆,最大晶圆尺寸可达300 mm。该刀具最多可容纳两个传输室,用于单个和并行处理功能。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM 蚀刻器/asher为先进半导体元件的制造提供了可靠可靠的解决方桉，具有优异的蚀刻和灰化效果。其先进的自动化功能、灵活的设计和先进的过程控制功能使其适合制造具有多层和复杂几何形状的设备。