二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267844 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS
ID: 9267844
Deep trench silicon etcher FACE 1 (Controller) FACE 2 (Controller) (4) Chambers (4) Gas boxes QUARTZ (2) AC Power (4) Pumps Pump stand Parts: (4) Buffer chamber pumps (4) Chillers Door Chiller stand.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS是一款创新的蚀刻/asher设备,旨在为汽车制造商、消费电子公司和其他行业提供准确可靠的制造工艺。SP 308QS具有高扭矩的两轴水平级,允许在广泛的速度和加速度轮廓范围内进行精确的高速级定位和处理。该系统先进的工艺控制确保了精确的温度控制和蚀刻材料在基板表面积上的均匀沉积,从而实现了精确的蚀刻/灰化应用。TEL Telius SP 308QS利用先进的软件来确保卓越的过程控制和可靠性。内置的基于CAD的配方程序提供一致的蚀刻性能,而内置的自动打印功能大大简化了设计和原型设计的工作。该单元还允许轻松设置和配置多个蚀刻/灰化配方,从而简化创建自定义蚀刻和灰化配方的过程。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS机设计了一个直观的用户界面,使用户能够快速配置、处理和监视蚀刻/收集器。该工具也是为了最大程度的安全而设计的。多个安全功能,包括CE标记、IP2X电气外壳以及在紧急情况下自动终止流程,确保安全的工作场所并防止发生任何事故。Telius SP 308QS生产的半导体蚀刻/灰烬具有最高的质量和可重复性,确保了高效运行和高产率。资产配备了精密的工艺监视器,可以检测蚀刻和灰化条件的最小变化,确保精确的工艺控制。该型号还具有通过内部和外部调整蚀刻和灰分配方进行微调的功能。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS能够在广泛的温度和压力范围内进行蒸发和蚀刻过程。这样可以确保最佳的晶片级处理,从而获得最高的生产率。此外,该设备设计灵活,以便快速容纳新的基板和工艺。这对于研究和开发以及各种复杂和苛刻的工艺的工业生产都是理想的选择。TEL Telius SP 308QS是一个创新、可靠且安全的蚀刻/蚀刻系统,旨在以最高的工作效率和效率提供卓越的质量。该设备的高性能控制系统和集成的安全功能确保了安全的工作环境和一致的流程结果,使用户能够从其流程应用程序中获得最大的价值。
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