二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267845 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS是为高级生产工艺而设计的蚀刻器/asher。它适用于3xnm及以下各种工艺技术中的内存和逻辑设备应用。蚀刻器/asher利用双频石英（DFQ）波导，为更广泛的应用提供更高的能量。TEL Telius SP 308QS采用先进的腔室设计,提供卓越的工艺一致性和吞吐量.该设备采用室内静电卡盘设计，可实现晶片与晶片之间的安全接触、晶片的彻底清洁和光滑的蚀刻轮廓。此外,此蚀刻器/asher还具有四位置晶片,可在同一运行中实现不同的晶片大小,从而提高吞吐量和灵活性。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS采用真空密封结构,具有自动盖子打开/关闭和Cryo-Vesicle捕获选项。它还配备了与PBrF工艺控制单元协同工作的多层快门系统。这台机器提供了对产品属性的出色控制,并有助于在不同的工艺层和晶片之间保持一致的产量。Telius SP 308QS 蚀刻器/asher还提供一系列高级维护和安全功能。这包括用于提高可靠性的气刀防爆工具和化学废气预防资产，以及用于提高安全性的晶圆定位单晶圆和机械臂保护系统。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS 蚀刻器/asher为高效、准确、可靠的性能而设计，非常适合高端蚀刻和灰化生产工艺。它提供了出色的控制、一致性和灵活性,使用户能够在生产过程中获得可重复和可靠的结果。