二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267846 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS 蚀刻器/asher由TEL（TOKYO ELECTRON）设计制造，用于优化半导体制造和器件制造的自动实验室。这款功能强大且先进的蚀刻器/asher通过提高精度、控制和效率,提供了超越传统干蚀刻工艺的功能。TEL Telius SP 308QS是使用ECR（除了ISO-Dry蚀刻工艺之外的查找表保形蚀刻）腔室，具有8英寸单晶片功能的批处理工具。配备射频发电机、质量流控制器、设备控制器。蚀刻室有一个夹紧系统，以便在蚀刻时将加工晶片固定到位。该腔室能够提供均匀等离子体生成、改进保形蚀刻、改进低温蚀刻、提高重复性等均匀流动分布的最佳气氛。SP 308QS为离子和非离子蚀刻提供生产性蚀刻工艺。ECR室是晶圆厚度监测的理想选择，使用射频发生器监测蚀刻过程以确保均匀蚀刻。它还支持电化学蚀刻、化学蒸气蚀刻和反应性离子蚀刻（RIE）。SP 308QS旨在最大程度地提高每个过程步骤的均匀性、重复性和准确性。因此,它能够在低压和低功率模式下运行,从而提供更高的精度。SP 308QS的卓越控制能力提供了可重复的均匀晶片蚀刻。该单元还具有高对准精度选项，提高了金属和多硅蚀刻在小空间中的精度。SP 308QS的其他功能包括缩短维护时间、精确的参数设置和用户友好界面。此外，该机与流行的流程集成软件如Cimquest的Servel II和其他与Cimquest相关的流程管理软件系统高度兼容。SP 308QS还具有完整的工具自动化功能,并拥有创新的触摸屏面板用户界面。总体而言，TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS 蚀刻器/aser为批量半导体加工提供了优化的性能，允许小规模晶圆生产。SP 308QS 蚀刻器/Asher具有卓越的控制功能、先进的ECR技术和高效的操作,是各种自动实验室应用程序研发项目的理想选择。