二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267847 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS是一款功能强大且可靠的干膜Asher,专为半导体和电子制造中要求最苛刻的应用而设计。这种高性能的设备能够提供大大小小基板的精密蚀刻，包括DRAM、闪存、FRAM、SRAM、EPROM和EEPROM。此蚀刻器/asher利用双梁技术在整个程序中实现均匀蚀刻。它包括一个光束柱（OBC）为每个单独的蚀刻步骤定义蚀刻参数掩码,一个存储该OBC指令集的充电板,以及一个光束对准摄像机以确保最佳的光束对准。该系统装有一个超精确的运动台，两个蚀刻头可以独立调整以达到最大精度。TEL Telius SP 308QS中的单向气体输送装置确保了均匀的蚀刻结果。它配备了可调气体压力、流量，以及选择N2、C2H2和O2的气体选择机。它包括种类繁多的蚀刻面膜，以创建广泛的蚀刻图样，以及一个温度和氧子控制工具，以保证蚀刻结果的一致性。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS实现了可重复的极高蚀刻速率，具有极好的线性度，在宽度和深度上的分辨率高达1微米。它还为各种晶圆尺寸和基材提供了均匀的蚀刻速率。该资产能够以高清晰度和精确度蚀刻复杂表面,同时保持0.0005至0.002 µm/min的一致蚀刻速率。Telius SP 308QS专为方便维护而设计,并配有用户友好的专用控制软件,具有高级警报管理、数据管理和分析功能。它还具有图形用户界面、标准网络连接、通过互联网控制进行远程访问以及具有内部密码保护的高级安全模型。该设备配有符合人体工程学设计的各种配件，可用于定制、高效的处理。