二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT #9204771 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DT是一种碳化硅化学机械平面化（SCCM）蚀刻器/灰化器。SCCM是利用化学蚀刻、机械抛光以及泥浆的反复泛滥和去除相结合的方法对基板进行精确扰动的过程，以实现所需的表面和平面化。TEL Telius SP SCCM DT为需要以纳米级分辨率平面化材料的制造商和工程师提供了解决方桉。TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DT设计了多种腔室尺寸，以容纳多种基板，包括硅片、复合半导体、玻璃、低k电介质。Telius SP SCCM DT具有广泛的基板处理能力,是各种蚀刻和平面化工艺的最佳选择。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DT利用先进的直驱设计与涡轮鼓风机结合多轴直驱卡盘，以确保精确的对准、负载均匀性和可重复的最终结果。TEL Telius SP SCCM DT提供三阶段、高性能的蚀刻工艺。在第一阶段，一种含有磨料颗粒的浆料被用来去除表面特征，例如由先前的图样造成的凹陷和台阶。第二阶段使用化学蚀刻有选择地蚀刻掉预定的区域，如沟槽或通道，并为随后的平面化阶段准备表面。在第三阶段，使用非磨料浆料来平滑表面特征并创建平面表面。除了其高效的蚀刻工艺外，TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT还具有先进的监控设备。该系统提供操作参数的实时反馈,并允许从头到尾监控统计过程。此外，Telius SP SCCM DT包含众多安全环保功能，如主动排气、级联层气体控制器、双级安全快门单元等。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DT是一款可靠、高性能的蚀刻和平面化机器,为用户提供了一种有效、可靠的蚀刻和平面化解决方桉。TEL Telius SP SCCM DT是各种应用的理想选择,专为提高准确性、效率和可靠性而设计。