二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293634370 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款最先进的蚀刻器/asher,它提供了改进的过程控制、无人驾驶能力和灵活性。该设备适用于晶片级加工应用，具有较高的蚀刻选择性，具有深度蚀刻工艺、快速化学辅助蚀刻以及蚀刻和背面溅射工艺。其用户友好的界面和卓越的吞吐量为广泛的应用程序提供了高水平的性能。TEL Telius SP系统配备精密激光基晶片级、精密晶片监视单元和先进的过程控制。由于其高可重复性和最大的定位速度,其设计实现了高度可靠、可重复的过程和高蚀刻精度。它不仅能够进行晶圆背面激光视频检查和自动标记过程，而且能够进行自动背面时间和温度控制以及闭环对准。背面溅射和蚀刻过程可以在TOKYO ELECTRON Telius SP上一口气进行。通过其特殊的气体控制系统和全自动的背面溅射和蚀刻过程，包括清洁，加快了这一过程。该机还配备了内置惰性气体机，并具有突破室和排气能力，为腔室环境提供最大限度的保护。Telius SP上具有晶圆激光器能力的输送机构使用微机控制的航天飞机，以确保晶圆的可靠传输。此过程为长期过程提供了卓越的可重复性、准确性和可靠性。该工具具有高生产率界面和自动完成等自动化功能,可最大程度地减少用户输入和错误。通用晶圆尺寸支持允许对各种晶圆尺寸进行高效处理，尺寸从8英寸到200毫米。资产除了常见的玻璃、石英、熔融二氧化硅等基材外，还支持多种不同的工艺基材，包括氧化硅和聚酰亚胺。综上所述,TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP是一款高级蚀刻器/Asher,提供出色的工艺控制、卓越的生产效率和灵活的工艺能力。该模型具有激光晶片级、晶片视频检测、自动背面蚀刻和溅射以及通用晶片支撑等特点，在各种晶片尺寸和工艺基板上均提供卓越的重复性、准确性和可靠性。