二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293637535 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款创新的等离子体蚀刻器，专为工业薄膜应用而设计。它是一种基于等离子体的设备，利用高性能射频发生器和磁控管有效地产生和提升射频等离子体。蚀刻器还配备了一个集成的机器学习系统，使它能够根据需要改变参数，以保持最佳蚀刻结果，同时尽量减少人工干预。TEL Telius SP具有先进的循环蚀刻工艺,使其能够以比其他蚀刻系统快得多的速度蚀刻材料。蚀刻室能够在高达四个大气压下运行，这有助于提高工艺的聚类效率。它还利用自动调平机制在样品表面均匀分布电弧电位，降低蚀刻气体的蒸发速率。它坚固的设计使其能够在-5至75°C的温度下运行。除了出色的蚀刻能力外，TOKYO ELECTRON Telius SP还拥有一个高性能的光学成像装置，用于对蚀刻后的薄膜进行分析。这台成像机配备了几个组件，包括高性能CCD相机、光学显微镜和成像计算机。使用这些元件，该工具可以对薄膜样品进行详细分析，为用户提供有关样品蚀刻速率、表面轮廓和厚度的数据。Telius SP提供的用户友好界面和直观软件使用户无需高级技术知识即可轻松设置和操作蚀刻资产。设置过程很快,只需几个简单步骤即可校准模型。集成的机器学习设备也使系统全自动，不需要复杂的参数设置。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是等离子体蚀刻技术最新进步的例证。其先进的循环蚀刻工艺使其能以比其他系统快得多的速度蚀刻材料，而其高性能成像单元则允许用户对薄膜样品进行详细分析。TEL Telius SP具有强大的设计和自动化的设置和操作,是寻求先进等离子蚀刻器的工业应用的绝佳选择。