二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293657406 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款用于生产先进半导体器件的最先进的蚀刻和灰化机。它为高级工艺特性提供了可靠、高通量的蚀刻，具有无与伦比的精度和控制能力。该机器能够在各种温度和吞吐量水平下产生一致的结果。TEL Telius SP具有先进的气态蚀刻源,可确保各种温度下的蚀刻均匀性。这种先进的蚀刻源是温度控制的，并结合了压力、流量和反应物控制，以改进工艺控制和提高蚀刻性能。此外，可以调整蚀刻源，在各种未抛光和抛光晶片上提供快速和准确的蚀刻。TOKYO ELECTRON TELIUS SP的先进气源配置了内置石英蚀刻室、脉冲直流蚀刻功率单元和数字读数计进行精密蚀刻。数字计算机控制的脉冲和直流蚀刻确保了工艺结果的最优均匀性和准确性。Telius SP还具有平板显示器（FPD）,为用户提供直接的流程反馈信号。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP先进的湿蚀刻能力提供了广泛的反应性湿蚀刻剖面。从开始到结束分析和源参数优化可确保改进蚀刻和去除性能,从而提高工艺产量并提高吞吐量。自动湿蚀刻开关使用户可以方便地在湿蚀刻和干蚀刻轮廓之间切换。TEL Telius SP还具有精确的干蚀刻设备,具有自动压力、温度控制和过程监控功能,可提高蚀刻优化效果。干蚀刻能力也适用于背面或双面工艺流程。板载内置蚀刻室能够容纳具有均匀蚀刻分布的大型晶片。TOKYO ELECTRON Telius SP提供了多种附加功能和附件以增强其功能。其自动重量控制系统（AWCS）和晶圆处理机器人（WHR）设计，以提高工艺精度和可靠性。冷却卡盘可用于晶圆或基板冷却。可以添加额外的蚀刻工具,例如反应性离子蚀刻（RIE）单元,以使机器能够执行反应性RIE蚀刻。Telius SP是高级工艺特性蚀刻的完美解决方桉,与其他蚀刻系统相比,它实现了可靠、统一的工艺,具有更高的吞吐量。其灵活性、先进的源技术和工艺优化能力使其成为高端半导体生产的理想蚀刻机。