二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9178722 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP是一种蚀刻/灰化设备，适用于各种类型的表面制备，以创造所需的表面形态。该系统主要用于半导体制造以及广泛的其他行业，如MEMS、能源设备、薄膜电子元件和光学系统。TEL Telius SP能够高精度地创建各种蚀刻图桉和形状。它使用先进和精确的控制技术来控制蚀刻/灰化过程，从而实现更好的精度和更高质量的蚀刻。还利用低压微蚀刻，确保蚀刻深度和形状均匀。该装置配有各种工具和配件，可用于各种蚀刻应用。它包括用于蚀刻的不同尺寸的掩模框架，以及可用于底切的惰性气体和模子板。它还能够清洗深层RIE、湿蚀刻和热固化等过程。机器还提供过程控制,以确保在最佳状态下执行蚀刻/灰化过程。传感器监视压力、温度和其他参数,以提供有关过程的反馈。这有助于确保过程以安全的方式进行,以防止蚀刻基板损坏。TOKYO ELECTRON TELIUS SP配有触摸屏显示器,可轻松输入工艺参数并实时监控蚀刻/灰化工艺。该工具还包括用于详细记录保存的数据记录，可用于分析和比较不同的过程。资产能够精确蚀刻/灰化复杂的阵列和形状,以及过程控制功能,使其成为各种制造环境中表面准备的宝贵资产。易于使用的触摸屏和数据记录功能使用户能够跟踪和分析蚀刻过程，快速高效地产生结果。这一点,加上其令人印象深刻的功能,使Telius SP成为任何生产线的宝贵补充。