二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197560 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款全自动蚀刻/灰化设备，设计用于半导体和平板显示器制造的蚀刻和灰化材料。该系统能够在单个过程中对晶片进行完整的光刻蚀刻和灰化。这样可以节省时间和成本,并有助于提高产量。该单元通常装有一个薄膜沉积室、蚀刻室和一个灰化室。薄膜沉积室的设计是为了沉积制造半导体所需的各种材料。蚀刻室用于对层进行精密蚀刻，而灰化室则用于进行化学灰化tp去除不需要的薄膜层。该机器包括一个自动负载锁定机构和一个盒式到腔室转移工具。自动负载锁定机制有助于底物的装卸，而盒式磁带到腔室的转移资产则用于将底物从盒式磁带运输到各个加工室。TEL Telius SP能够产生具有亚微米垂直和横向分辨率的高密度介电模式。它具有高均匀性和可重复性,因此适合需要精确处理的应用。该模型还提供了卓越的工艺控制，有助于确保工艺结果的可重复性和高质量的制造。此外，TOKYO ELECTRON Telius SP包含集成配方和数据处理设备，使用户可以安全存储和检索工艺配方和结果。这有助于提高流程一致性和整体效率。总体而言,Telius SP是一个可靠高效的系统,可为各种设备制造应用程序提供高精度的蚀刻和灰化效果。其自动化的安全功能、先进的配方和数据处理单元以及用户友好的操作使其成为实现精确且经济高效的设备制造过程的理想之选。