二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197565 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款高性能的等离子体蚀刻器，专为先进的半导体制造工艺而设计。这款蚀刻器配备了业内最高的等离子体源之一，提供精确度极高的高吞吐量。它还具有很高的配置能力,可以满足各种流程需求。TEL Telius SP具有先进的等离子体源技术，允许高反应性高能离子和更密集的等离子体。此技术有助于显着缩短蚀刻过程的周期时间,并实现更快的生产操作。该设备还提供了卓越的精度，具有最佳的均匀性和重复蚀刻特征。它具有广泛的可配置性选项,使其能够针对各种半导体过程进行调整。该系统还配备了一整套监测和控制工具，如温度传感器和湿度传感器。这有助于确保最佳蚀刻条件并减少工艺污染的可能性。它还具有集成的数据日志记录功能,允许用户监视和审查其流程以确保质量和排除故障。该单元提供了一个用户友好的界面，直观的控制，使其易于学习和操作。它很容易集成到现有的半导体制造系统中，并与批量和单晶圆加工要求兼容。总体而言,TOKYO ELECTRON Telius SP是一款先进的蚀刻机,提供卓越的精度、快速的通路和材料兼容性。它是前沿半导体制造工艺的绝佳选择,提供最高的精确度和可配置性。