二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197570 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一种大批量生产的平行簇型蚀刻器/asher的理想选择。它是一种经济高效的解决方桉,用于创建复杂的3 D结构,并具有精确性和准确性。它拥有简单、方便用户的操作设备，非常适合引导操作员通过先进的工艺配方。TEL Telius SP包含四个不同的模块,分别用于晶圆的光刻涂层、预处理、蚀刻和顶部表面的灰化。每个模块都是为实现可靠和可重复的性能而构建的,几乎没有停机时间。预处理包括氧气和氟气注射，使表面光滑均匀。使用静电卡盘将晶片固定到位，先进的阻抗系统包括ASYST实时等离子体单元，用于控制等离子体功率。蚀刻模块由一个高功率的等离子体工艺组成，能够以高度的精确度和精确度创建一个深而复杂的3 D结构。蚀刻时间和使用的材料都是自动监控和控制的，以确保质量结果。此外，多轴卡带可用于精密基板安装，并包括一个专用的EMGD CCD摄像机，用于在冲洗操作期间监测DI水位。灰化模组使用高功率的氧等离子体来除去有机和无机的光致抗蚀剂。它还为表面提供了光滑的光洁度，具有0.1µm的精度深度。该模块还具有周向屏蔽功能，可防止来自等离子体过程的粒子散射相邻隔室中的晶圆。TOKYO ELECTRON Telius SP拥有高达2,400种底物的大容量，是大批量生产的理想选择。它还与大多数化学品和气体兼容，并带有模块化设计，便于升级。此外,该机器高度自动化,具有多种内置安全功能,可确保其长期运行。这使得Telius SP成为精密、精密处理高分辨率结构的完美解决方桉。