二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197577 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一种用于半导体製造工业的蚀刻器/asher。它是一款全尺寸的asher，设计用于处理高密度晶片，并为关键的半导体需求提供卓越的性能。TEL Telius SP是一款全尺寸工具，由5轴线性驱动加载设备和多晶圆传输车组成。它具有19英寸的显示控制台和键盘,可选择多种语言。该布局允许方便的含铅/无铅器件切换，并设有一个自动晶圆处理系统与集成液体过滤器。该装置采用高级不锈钢结构，以实现更好的耐腐蚀性能，并用ESD安全电缆预先布线。TOKYO ELECTRON TELIUS SP拥有多个带有4轴旋转器的处理室，让使用者对蚀刻和灰化过程有极好的控制。旋转器能够快速旋转和高分辨率旋转,变速范围从10k rpm到25k rpm。它还具有改进的差压控制机、优化的真空技术和均匀的电源。清洁过程也得到改进，其特点是采用溴化氢工艺来有效地清洁晶片和自动补充清洁化学品。Telius SP还有一个Generative Cooling Chamber，它增强了反应产物的去除，减少了面罩的损伤。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP除了具有高精度的蚀刻和灰化功能外，还提供了先进的安全功能，如自动用户访问控制、冲击探测器、消防工具等。它还附带了各种不同的TEL软件的过程管理工具和集成。TEL Telius SP是在半导体制造设施中进行高批量生产和高精度质量控制的完美工具。它设计用于处理不同的晶圆尺寸和厚度，具有快速的循环时间和高精度的过程。由于其温度、时间和电流跟踪能力，它取得了更好的工艺效果，并配备了广泛的工艺控制选项。