二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197588 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是为生产电子元件而设计的先进蚀刻设备。该模型是一个独立的系统，由一个主工作站、一个真空室和一个外部氮单元组成。配备了高精度光束扫描、超高真空工艺、自动晶圆提升和氮泵功能等尖端技术。该机适合制备电容器、晶体管、电阻器等小型元件。该工具具有创新的三维运动资产，能够对沿x轴、y轴和z轴的运动进行精确、精确的控制，确保高精度的蚀刻和沉积。此外，该模型的超高真空能力保证了污染物的消除，这对于先进的工艺是必不可少的。TEL Telius SP具有晶片提升功能，即使在狭小的空间内也方便处理晶片。它还有一个独立的氮气设备，设计用于根据设计模式精确管理氮气沉积，同时也实现极薄的沉积膜。TOKYO ELECTRON TELIUS SP旨在实现快速的处理吞吐量,以及无误的蚀刻和沉积。它可以同时处理多个晶片和处理连续的过程而不会停止。它还配备了一个Setup程序，允许操作员轻松预览和调整处理条件，最多8个周期的晶圆。Telius SP直观的用户界面包括方便的图形触摸屏，以及基于PC的软件环境。直观的用户界面和易于使用的PC软件相结合,使工程师能够快速预览、编辑和调整处理条件,使其符合所需的规格。该系统还提供了广泛的配方、内置编辑工具以及将数据传输到其他机器的能力。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP由嵌入式操作单元供电，利用先进的人工智能技术最大限度地减少错误并优化结果。该机还符合环境安全标准，确保操作可靠，维护操作员的安全。总体而言,来自TEL的TEL Telius SP是一款先进的蚀刻工具,具有先进的技术和优越的用户友好界面,适合生产高精度元件。其独特的氮气资产、晶片提升功能和简便的操作环境为电子元器件的生产提供了全面的流程。