二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197601 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP是一种蚀刻器/asher，经过设计，提供大规模、精密的蚀刻和ashing操作。该设备的设计采用开放式体系结构,允许过程优化以及集成到生产线中。TEL Telius SP由强大的发电机驱动，以确保过程性能稳定，具有可调电压、电流、总蚀刻时间和脉冲/关闭便利。该系统的开发目的是提供大规模蚀刻工艺，可容纳高达6英寸晶圆直径，并利用溷合型干蚀刻/高密度等离子体方法来实现超高精度薄膜。TOKYO ELECTRON TELIUS SP利用高功率发电机进行坚固、稳定的蚀刻和灰化处理,最高频率可达300GHz,高频电功率可达20kW。这种蚀刻器/灰化器能够处理各种各样的加工气体，从氧气和氮气到稀有气体，并配备了特殊的等离子体清洗工艺功能。此外,Telius SP还具有高度可控的微波模式和点火器命令能力,具有四向切换、多发点火、高精度级操作和内存阵列处理数据,以及整个晶圆蚀刻层的完美均匀性。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP具有自动对准和基于盒式磁带的装卸功能,可实现全自动流程,吞吐量时间短,性能优异。该单元的设计是为了实现最佳的维护能力，能够快速、可靠地响应服务请求。整机搭配包含高度参数定制、图形用户界面（GUI）、流程数据导出/导入的综合软件包，允许顺利集成到生产线中。总而言之,TEL Telius SP 蚀刻器/asher提供了用于精密蚀刻和灰化操作的尖端解决方桉。TOKYO ELECTRON Telius SP凭借其高端性能、广泛的工艺能力和自动化的工艺流程,是要求高效、精密的生产线的理想选择。