二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197603 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP
ID: 9197603
晶圆大小: 8"
优质的: 2005
Oxide etcher, 8" (3) Telius SP vesta chambers 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款为半导体封装分析和制造而设计的蚀刻器/asher。它提供三种蚀刻功能:化学蚀刻、湿蚀刻和干蚀刻。化学蚀刻可以通过去除基板上的污染物来创造高质量的表面光洁度。湿蚀刻用于破坏材料表面,使其被氧化或蚀刻掉。最后,干蚀刻被用于在基板上形成深沟和图样,可用于电路或特征定义。TEL Telius SP有一个内置的高压等离子体(HPP)发生器,可以用来创建一个高效一致的蚀刻过程。独特的三气控制系统允许在单个过程中输送精确量的等离子体气体和蚀刻气体。这样可以更好地控制蚀刻参数。TOKYO ELECTRON TELIUS SP还有一个基于热解的抵抗带系统,这有助于减少总处理时间。Telius SP还提供多种控制功能,为用户提供最佳的蚀刻效果。它包括高精度温度控制技术和闭环压力控制,以保持过程中的稳定性。它还具有自动洗室功能,有助于减少材料积聚和污染。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP可以产生多种蚀刻图样,从简单的穿孔到複杂的装置结构。凭借其易于使用的用户界面,用户可以准确选择蚀刻策略,生成高均匀度的氧化物层,优化蚀刻工艺。此外,TEL Telius SP具有多种安全特性,如安全室外壳和远程气体关闭阀。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 蚀刻器/asher是一种用途广泛且可靠的半导体封装和分析应用工具。其各种蚀刻能力和先进的控制特性使其成为现代制造工艺的宝贵工具。
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