二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197605 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一种高级蚀刻器/asher，用于处理硅片。它是专门为半导体器件制造而设计的，使得它非常适合于像MEMS、MOEMS和微型规模特征图样这样的蚀刻和灰化应用。设备由多室HDX单元、负载锁定端口、华夫饼、大型主机控制器单元和多个外围单元等组件组成。HDX单元能够一次在一个晶片上蚀刻和灰化。负载锁定端口最多可存储16个晶圆,并具有150 mm传输机器人臂,可帮助将晶圆从端口传输到吊舱。华夫饼荚每个可储存多达60个晶圆，并有助于提供精确、受控的蚀刻/灰化操作。大型机控制器单元负责管理系统的运行，包括处理配方参数、过程设备控制和数据管理。该单元还与包括液晶显示屏、触摸屏操作员单元、供气控制单元在内的外围单元进行通信。TEL Telius SP配备了批晶片处理、RFID数据跟踪、自动穿梭等高级功能。也可以通过以太网连接远程操作。此外,它对环境的影响较小,对希望减少足迹的客户很有吸引力。在操作方面，该单元提供精确且可重复的结果，生产周期时间为15.4分钟。真空辅助AGC等离子体源技术可实现高质量、优化的蚀刻/灰化结果。使用电极力Tuning-TEC也有助于减少批内粒子产生，确保产量提高。总体而言,TOKYO ELECTRON Telius SP是一款高效的机器,具有高级功能,能够实现高质量的蚀刻/灰化应用。其精确、可重复的结果以及低环境影响，使其成为半导体器件制造的理想解决方桉。