二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197607 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款蚀刻器/asher，设计用于提供高通量和出色的基板加工粒子控制。该蚀刻器/asher适用于所有类型的基板，具有自动腔室压力控制系统和多轴加工头。蚀刻器/灰化器设计紧凑，占地面积小，高吞吐量率为4个气体输入。蚀刻器/asher具有高度精确的6轴加工头，可以上下移动和自由旋转，也可以以高达+/-0.1度的精度倾斜。腔室呈长方形，可容纳200 x 200 mm以下的基板。腔内压力由精密的控制系统控制，在蚀刻过程中保持1.3 Torr的恒压。蚀刻器/asher还具有多级晶片处理技术，使得各种类型的基板能够高效处理。该蚀刻器/asher是高级MEMS和半导体应用程序的理想选择,具有远程控制操作系统和图形用户界面,用于设置配方。还支持远程维护和软件升级。该单元有内置的气体净化单元，以减少蚀刻过程中发出的颗粒数量。它还设有一个红外传感器，可以检测室内粒子的存在并相应调整压力。蚀刻器/asher还具有较低的功耗，使其适合各种操作。另外，蚀刻器/asher使用低温等离子体工艺进行蚀刻，从而减少了基板上的热缺陷数量。此外,TEL Telius SP 蚀刻器/asher具有终身保修,并且与所有类型的蚀刻气体和气体输送系统兼容。