二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197608 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP是一款具有最先进技术的蚀刻器/asher,用于产生高质量的结果。此工具旨在生产线宽极小、高纵横比地形和精确轮廓控制的电子电路。仪器的加工室尺寸为19.7 x 19.7 x 3.1英寸（500 x 500 x 80毫米），可处理直径295毫米的晶圆。它配备了垂直对齐的双级隔膜泵，用于维持工艺压力。此外，它还配备了总的气体输送设备，能够独立控制O2、BCl3、C4F8等8种气体。它针对不同的蚀刻要求提供了几种配置，如抗剥离、深沟蚀刻、空腔蚀刻、剖析和图样传递。该系统还有一个高度精确的数字扫描发生器，能够对晶圆进行高速扫描。此外，其倾斜补偿技术与精密机械级结合使用，确保了整个晶圆表面的均匀性。而且，它的表面映射单元允许从晶圆的中心到边缘的均匀性优化。其先进的过程监控有助于确保最佳质量性能。为了实现最佳性能,TEL Telius SP配备了定制的用户界面,可轻松操作。其数字化过程控制具有实时的过程监控功能，便于设置和维护可靠的过程。最后,它的自动配方执行机提供了最大的过程精度和可重复性.TOKYO ELECTRON Telius SP是极精细图桉表面蚀刻/粉刷的理想工具。其先进的功能和选项提供了更高的精度、坚固的性能和过程灵活性,使其适合要求最苛刻的应用程序。