二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9398280 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款蚀刻器/asher，设计用于执行一系列蚀刻、清洁和其他高级工艺。它具有很高的多功能性,是各种技术的可靠选择。TEL Telius SP具有优化性能的多级配置,能够运行多种过程,包括反应性离子蚀刻、化学气相沉积、退火、高密度等离子体蚀刻、灰化等。它围绕一个石英管建造，外部可调节的助推器电源可以控制气体压力和流量。SP还具有高级控制面板和各种其他用户友好功能。TOKYO ELECTRON TELIUS SP是最具挑战性的蚀刻和清洁工艺的可靠选择，因为它的高性能和卓越的质量保证。经过彻底的测试，确保在均匀性、可重复性和稳定性方面的卓越性能和无与伦比的可靠性。先进的控制面板和可调节的助推器电源使用户能够调整各种参数，如预蚀刻/慢蚀刻速率、钝化速度和线路速度，以优化他们的工艺并最大化生产率。Telius SP还配备了先进的安全系统,可从头到尾实时监控蚀刻过程。复杂的安全功能包括关闭阀和在发生超压事故时为有效的安全壳系统进行自动化处理。该系统由内置控制器监控,该控制器具有以太网、USB和VGA端口,用于通信。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是执行具有挑战性的蚀刻和清洁工艺的绝佳选择。它旨在满足业界在性能、可靠性、安全性和生产率方面的最高标准,为用户提供可靠且质量可靠的蚀刻解决方桉。