二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9402146 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一种先进的蚀刻/asher系统，用于半导体器件制造行业的介电蚀刻和晶圆清洗。它是一个完全自动化的高性能系统,提供无与伦比的准确性、可重复性和吞吐量。TEL Telius SP配备了9kW RF电源,以及用于优化蚀刻/清洁过程控制的RF匹配网络。该机还配备了大气压力等离子体源，允许高速率和均匀的处理。TOKYO ELECTRON TELIUS SP设计用于晶圆上介电层的顶侧或底侧蚀刻，或基板和掩模中开口的蚀刻。蚀刻能力以高度精确和可重复的过程为后盾；这样可以确保一致的结果,同时节省时间和成本。此外，系统兼具端点检测器和阴影掩码对齐器，可用于正负蚀刻过程。Telius SP还包括一个高精度的晶圆清洗元件，允许从晶圆中去除污染物。该机采用独特的高密度等离子体、工艺时间优化和加速晶片运动技术，消除晶片表面的碎屑。该系统还具有集成的颗粒监测功能，提供无与伦比的清洁性能，最大卸载颗粒速率为<5颗粒/平方厘米/分钟。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP为半导体器件制造提供了可靠高效的蚀刻/清洗工具。其先进的功能,如自动化的过程控制、阴影掩模对准器和高密度的等离子体清洗,可确保卓越的效果和卓越的重复性和吞吐量。
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