二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9412454 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款为半导体生产而设计的蚀刻器/asher。该工具能够在诸如晶片等基材上蚀刻高精度图样，在Ar/SF6等离子体中蚀刻速率高达1.7 µm/min。这种蚀刻器非常适合制造先进的设备和电路。TEL Telius SP蚀刻器带有一个大腔室，它通过降低压力和化学浓度来提供理想的蚀刻环境，从而影响蚀刻速率。原始压力设备的改进版本可防止腔室中的压力干扰,并有助于减少过程运行之间的交叉污染。该单元还配备了先进的晶圆级基板定向系统，允许被蚀刻晶圆的可重复高度和定向精度。TOKYO ELECTRON Telius SP配备了通用自动化接口（GAI），使用户能够实时设置、监控和控制蚀刻配方和参数调整。这种先进的自动化使操作能够在没有用户干预的情况下快速可靠地完成。工艺配方提供了一种方便的方法，用于将各种几何形状的结构单独或以批量形式蚀刻到基板上。Telius SP蚀刻器还具有高级智能诊断单元（IDS）,可帮助确保最佳性能。这台机器使用一套传感器来连续监控工艺条件，并可以调整配方参数以确保最佳效果。该蚀刻器还采用了独特的三维电极工具，提供了优越的区域覆盖率以及较小的金属互连线宽。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP蚀刻器的设计是为了降低维护和维修成本。该单元采用了坚固的设计和快速拆卸组件,便于快速高效地维护和维修蚀刻器。蚀刻器还提供低压校正资产和智能清洁模型,有助于减少维护期间的停机时间。最后，TEL Telius SP 蚀刻器/asher是一种专为制造半导体产品而设计的多合一机器。它能够在基板上实现快速、高精度的蚀刻速率,并提供多种高级功能,包括自动化和诊断系统,以确保最佳性能。这台机器非常适合生产先进的设备和电路,并提供了巨大的可靠性、可重复性和低维护成本。