二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELIUS TSP-30444VVV #9219374 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS TSP-30444VVV 蚀刻器/asher是一种先进的、高性能的晶圆处理工具，用于半导体工业。它主要用于蚀刻、灰化或稀释过程。此蚀刻器非常适合于需要精确控制的高吞吐量蚀刻和灰化的应用。该TSP-30444VVV是一种快速、精确、经济高效的蚀刻器和asher,可处理各种晶圆尺寸（最大150毫米）。该蚀刻器具有强大的脉冲直流蚀刻和ECR等离子体灰化技术，提供光滑蚀刻和高均匀性。该工具还带有编码器控制的扫描，确保精确和可重复的结果。该TSP-30444VVV包括一个强大的气体进料控制设备，即使在存在反应性差异很大的工艺气体的情况下也能实现准确的端点检测。该系统还提供了更精确地微调蚀刻或灰化过程以及在不同尺寸和材料的晶片上产生均匀结果的能力。该装置还具有一个集成的真空机，可确保颗粒在蚀刻或灰化过程中不粘附在晶片上。该工具还有助于降低工艺污染的风险，并保持晶圆表面的高质量。蚀刻器包括一个自动化的晶片加载资产，可以在一个批次中容纳多达8个单独的晶片，从而提高吞吐量，使多个进程能够在短时间内执行。蚀刻器还具有一个可编程配方存储模型，可以方便地编程一个或多个定制的工艺配方。该高级TSP-30444VVV旨在提供可靠、可重复的结果,并具有广泛的蚀刻和灰化过程。其先进的气体进料控制设备和高效的晶片加载能力有助于使其成为半导体制造商的高效工具。