二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS (JIOX) #293646437 待售
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TEL Telius TSP-30555SS（JIOX）是一种为晶圆在半导体制造中的应用而设计的蚀刻器/asher。该单元具有允许全方位蚀刻操作的大型加工室，如反应性离子蚀刻（RIE）、蚀刻-反向、离子铣削、离子蚀刻和深反应性离子蚀刻（DRIE）。该腔室还具有可调气流和自动气体开关，使用户可以灵活使用各种蚀刻工艺。该TSP-30555SS配备了强大的3轴电动级，允许精确的晶圆加载和晶圆定位。该单元还有一个有助于最大限度减少碎片产生的可选气刀，一个在蚀刻过程中保持快速反应和温度控制的闸阀，以及一个有助于保持腔室压力较低的涡轮泵。其先进的负载锁还允许快速晶圆重新加载和易于维护。在安全性方面，TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS有几个内建的功能提升操作员安全性。它配备了一个自动安全门和晶片识别系统，以及一个紧急系统，允许在紧急情况下快速关闭蚀刻器。该单元还有互锁系统、干膜保护和电离器等几种安全装置，有助于减少污染和蚀刻室损坏的可能性。TEL/TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS还提供用户便利功能,包括易于操作和数据管理的图形用户界面（GUI）、用户友好的监控和校准工具,以及内置的设备管理器。它还具有用于外部信号输入和输出的接口,从而在控制参数和过程时提高了灵活性。此外，该单元还配备了以太网和RS 232连接，允许用户连接网络系统以及远程监控。总体而言,TEL Telius TSP-30555SS是一款功能强大的蚀刻器/asher,具有丰富的功能和灵活性。它的腔室可以容纳各种蚀刻工艺，其安全特性、用户友好的设计和外部界面为用户提供了高效高效工作的能力。
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