二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-3055SSS #9265564 待售
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ID: 9265564
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Dry etcher, 12"
Process: SHIN
Processing type: Vacuum
Wafer type: Notch
Process gases:
(16) Gases: SFC1480FAPP2PL8
VAT 65051-JH52-APS1 APC, 14"
Gauge:
Unit / Make / Model / Range
Baratron (CM 1) / MKS / 627BRETDD2P / 33.33 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 627B11TDC2P / 1.333 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 626A01TDE / 133.32 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 51A11TGA2BA003 / 1.333 PA
BA Gauge / INFICON / BPG400
SHIMADZU EI-4203 LMC-T1 Turbo Molecular Pump (TMP)
SHIMADZU EI-4203MZ Turbo Molecular Pump (TMP) Controller
SCINCO SELME12ZS-BP3 Robot
HV Controller
DAINEN AGA-50B2 Generator
WGA-50E Generator
HPK10Z1-TE2 DC HV Generator
DAINEN AMN-50E3 Matcher
DAINEN WMN-50C6A Matcher
Sub module:
AC Rack
DC Rack
Process module: Power supplies
Gas box: Power supplies
Data back up: USB
Gas line injection: 16 Lines
Gate: V-TAC
SE2000 End point detection
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Missing parts:
Load ports
EPD PMT Sensor
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS TSP-3055SSS是一款先进的蚀刻/灰烬设备,专为难以蚀刻材料的高精度蚀刻和灰化工艺而设计。它配备了高端技术，优越的柔韧性和出色的表面分辨率。该系统由一个主处理单元、四个热板式操作模块和一个氧化模块组成。主处理单元设有腔等离子体源、旋转电磁体和等离子体光栅。这些组件的组合使设备的操作灵活，可以容纳各种材料，从标准金属到细腻的基板。热板模块用于提高蚀刻和灰化速度，并进行温度控制以确保最佳蚀刻效果。热板可用于将基板快速加热至室温至1000 °C的温度。氧化模组增加蚀刻的表面解析度，并可用于在各种基板上建立图样。该机精确度高，在蚀刻和灰化过程中均具有1纳米的精度等级。它还具有高达4米/秒的扫描速度，确保快速准确的工艺结果。此外,该工具可用于多个可重复的循环过程,如光刻过程。TEL Telius TSP-3055SSS蚀刻/灰化资产是最通用、最先进的系统之一。它是可靠的，为各种基材的蚀刻和灰化提供了极好的精度和特点。该模型旨在确保最大工艺性能和高精度。它是任何实验室、研究设施或工业环境的理想选择。
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