二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius #293807035 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS，有时简称为"蚀刻器"或"asher"，是一种使用等离子体蚀刻工艺在材料表面上创建微观图样或特征的专门工具。这种尖端蚀刻技术被用于一系列行业，包括制造半导体、液晶显示器和MEMS元件。TEL Telius蚀刻工艺在真空室中运行，在真空室中，使用高功率电子回旋共振（ECR）设备将气体溷合物如氯化​​​​铵或氮气电离。然后使用ECR系统和射频功率将这种电离环境转移到材料的表面（例如硅晶片）。当被激活时，电子倾向于向材料移动，升高其温度并导致其被蚀刻掉。这一有针对性的蚀刻过程非常精确、详细且可重复，其特征尺寸直径低至0.1微米。TOKYO ELECTRON Telius蚀刻工艺的主要优点是与湿法化学蚀刻等其他蚀刻技术相比提高了速度和生产率。此外,Telius蚀刻工艺可实现一致且高度可控的蚀刻深度,这对于质量保证至关重要。凭借其多重基材工艺能力，TEL/TOKYO ELECTRON Telius蚀刻工具已成为许多高科技和精密电子制造工艺的行业标准。TEL Telius蚀刻系统可以在许多生产设置中找到，并有不同的形式，如手动、半自动和全自动系统。TOKYO ELECTRON Telius蚀刻机的灵活性使其成为希望通过提高生产速度来节省时间和金钱的公司的诱人选择。此外，其封闭式腔室设计确保在蚀刻过程中不会发出腐蚀性化学品或辐射等安全隐患。总之，Telius是一种蚀刻工艺，为参与电子产品创作的公司提供无与伦比的精度和控制。提高了速度和精确度,加上能够创建特征尺寸小于0.1微米直径的蚀刻图样,使TEL/TOKYO ELECTRON Telius成为备受追捧的蚀刻单元。其模块化设计、多基板处理能力、封闭式腔室机提供了更高的效率和安全性。因此,TEL Telius是一个功能强大且经济实惠的解决方桉,适用于要求最高质量的电子元件的生产环境。